淺談氣體鋼瓶
氣源一般分為氣體鋼瓶和氣體發生器兩種形式:
氣體鋼瓶種類齊全,純度從工業級到高純度都可購買得到,而且氣體輸出穩定、壓力波動
小。因為高壓氣體鋼瓶的這些特點,所以其特別適用于以下幾種情況:1)氣體純度要求很高
(99.999%及以上) ;2)要求氣體壓力波動很小的情況;3)氣體無法通過氣體發生器制取的情
況;4)氣體使用量特別大的情況,使用氣體發生器很難提供穩定的氣體流量和壓力;5)比較
容易購買到高壓鋼瓶氣體時,使用成本比氣體發生器低。
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